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扼要描绘:HT2618a真空度测试仪(yí)经由进程尝试能够标定出各类管型的真空度与离子电流(liú)的对应干系曲线。当(dāng)测知离子电流(liú)后,挪用外部绝对应的比例参样,加以切确运算,得(dé)出切确实在真空度值。
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1、基于电离电荷的采样手艺
均接纳基于电离电荷的采样手艺。我公司专家在磁控放(fàng)电的研讨中(zhōng)发明:在外鼓励电源、真空灭弧室的多少尺寸、所用资料必然时,真空灭弧室内(nèi)的真空度与电离的电荷量有很(hěn)是(shì)切确的对应干系,而与电离电流(liú)的峰(fēng)值唯一几率上的相干间(jiān)接干系。是(shì)以,我公司创了基于电离电荷的采样手艺,明显进步了真空灭弧室的真空度计量的切确性。
2、凹凸压(yā)管型测试
本机别的对测试电压(yā)输出操纵了两个档位(高压(yā)3万高压(yā)2.5),是(shì)以可对凹凸压(yā)差别的各类管型时行有用测试。
3、内(nèi)置国际外几近一切真空灭弧室的丈量曲线
真空灭弧室因为其多少尺寸、资料的差别,当(dāng)外部真空度和外加鼓励电源必然时,其放(fàng)电电荷量是(shì)差别的,并且(qiě)有相称的差别。为切确丈量,对每种真空灭弧室必须有对应的从电离电荷量到真空度推算曲线。我公司的专家经由进程与国际首要真空灭弧室出产厂(chǎng)家的紧密亲密协作(zuò),取得(dé)了几近国际外一切真空灭弧室的电离电荷和真空度干系的数(shù)据(fù),经由进程数(shù)学处置,将其特色参数(shù)送(sòng)入本系列产物。是(shì)以,本系列产物内(nèi)置国际外几近一切真空灭弧室的丈量曲线。这是(shì)国际外同类产物中(zhōng)的。
4、泄电电流(liú)的处置
对处于分断状况的真空灭弧室动触头加高压(yā)静触头端加负离子电流(liú)时,静触头端会有数(shù)值不等(děng)的几个微安的泄电电流(liú),此泄电电流(liú)即便是(shì)同型号的真空灭弧室也有较大的个别差别。特别是(shì)对装在零件上的真空灭弧室,因为其周边的绝缘撑持件也有泄电,这些泄电的总和有更大的不不变性和不可展(zhǎn)望性。并且(qiě)在数(shù)值上与10E—4Pa数(shù)目级的真空灭弧室的电离电流(liú)相称。咱们接纳二次起动高压(yā)的体例,扣除了泄电电流(liú),保障(zhàng)了不管是(shì)装于零件上仍是(shì)待装的真空灭弧室的真空计量精度。
5、辨别*漏气(qì)的真空灭弧室
在本型机中(zhōng),经由进程高压(yā)击穿的体例辨别真空灭弧室是(shì)不是(shì)*漏气(qì)。
6、完美的输出掩护电路
认真空灭弧室的真空度很(hěn)是(shì)低时,丈量时真空灭弧室会被高压(yā)击穿,刹时的高压(yā)间(jiān)接加至负离子电流(liú)采样电路上,使其蒙受很(hěn)是(shì)强的电打(dǎ)击。采样电路增添了完整的掩护电路,即便仪(yí)器(qì)因为输出真个高压(yā)间(jiān)接加到负离子电流(liú)采样端居*时候,微电脑掩护装配会当(dāng)即起控,使其进入掩护状况,就不会形(xíng)成电路严峻的破坏。
7、数(shù)据(fù)记实
内(nèi)设微型打(dǎ)印机,可随时打(dǎ)印出被测数(shù)据(fù)。
第三章 HT2618a真空度测试仪(yí)测试道理
操纵离子电流(liú)在差别真空前提下的泄电流(liú)差别,来测试辨别真空灭孤室好坏。
将灭弧室两触头拉开必然的开距,动触头施力高压(yā)脉冲静触头施加负离子电流(liú)。因为泄电电流(liú)很(hěn)是(shì)弱,易于遭到外界差别的搅扰而下降精度。是(shì)以,必须经由进程励磁线圈绕于灭弧室外侧,向线圈通(tōng)以大电流(liú),从而在灭弧室内(nèi)产生与高压(yā)同步的脉冲磁场来,加快离子流(liú),按比例缩(suō)小采样率。如许,在脉冲磁场的感(gǎn)化(huà)下,灭弧室中(zhōng)的电子作(zuò)螺旋活动,并与剩余气(qì)体份子产生碰撞电离,所产生的离子电流(liú)与剩余气(qì)体密度即真空度类似成比例干系。对直径差别的真空管,在划一真空度前提下,离子电流(liú)的巨细也不不异。经由进程尝试能够标定出各类管型的真空度与离子电流(liú)的对应干系曲线。当(dāng)测知离子电流(liú)后,挪用外部绝对应的比例参样,加以切确运算,得(dé)出切确实在真空度值。也便是(shì)说经由进程查问该管型的离子电流(liú)——真空度曲线取得(dé)该管型的真空度,这一进程由计较机主动实现。
第四章 HT2618a真空度测试仪(yí)手艺参数(shù)
所测真空泡:电压(yā)品级6KV-35KV以上
丈量规模:10-5-10-1Pa
丈量偏差:10-4-10-1Pa中(zhōng)偏差±10%
丈量分辩率:10-5 Pa
漏气(qì)的灭弧室在丈量中(zhōng)将产生电击穿,本机处于掩护状况。
许可环温:-20℃-50℃,如在0℃以下测试时请先将机械通(tōng)电20分钟后再操纵。
氛围湿度:<85%RH
输出电源:AC220V±10% 50/60HZ
形(xíng)状尺寸:350×320×225mm
